《科创板日报》30日讯，台积电海外营运资深副总经理暨副共同营运长张晓强表示，仍在评估High-NA EUV应用于未来制程节点的成本效益与可扩展性，目前采用时间未定。A16制程将于2026年下半年量产，可能不会采用high-NA EUV设备。
台积电：仍在评估High-NA EUV，采用时间未定
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